Das Upgrade auf das neue SALD-Verfahren bringt erhebliche Vorteile. In der Solarwirtschaft z. B. lassen sich mit SALD-Beschichtungen für die neue Generation der Perowskit-Silicium-Tandemsolarzellen Wirkungsgrade bei der Leistungsumwandlung erreichen, die weit über der theoretischen Grenze von reinem Silicium liegen. Genau auf diesem Gebiet plant SERIS auch den Einsatz der neuen SALD-Anlage. Dank des Verfahrens können neue Solarzellenmaterialien, wie Zinnoxide und transparente leitfähige Oxide sowie Passivierungs- und Tunnelrekombinationsschichten zur Anwendung kommen. Auch Lizenzen für die SERIS-Technologien soll es geben.
Foto: SALD