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1 Einleitung

Überall, wo es darum geht, auf dielektrischen Substraten chemische oder elektrochemische Schichten aufzubringen, sind haftvermittelnde PVD-Interfaceschichten oftmals unumgänglich. das PVD- Verfahren bietet dabei den Vorteil, eine reproduzierbare und variable Adhäsion aus dem Substrat zu erzielen.
Über ein industrielles Anwendungsbeispiel aus dem Bereich der Uhrenindustrie soll nachfolgend berichtet werden, wobei das Verfahren zur Herstellung von hochauflösen- den Strukturkopien mittels Galvanoformung dargestellt wird.

Prof. Dr. A.F. Bogenschütz zum 70. Geburtstag gewidmet

1 Einleitung

Beschleunigte Veränderungen des technischen, ökonomischen und sozialen Umfeldes vieler industrieller Bereiche führen zu einem wachsenden In- novationsdruck, kürzeren Produktlaufzeiten und oft zu einer höheren Komplexität der Fertigungsprozesse. Auch hier gelten die Darwinschen Prinzipien der Evolution, Abwandlung, Wettbewerb und Auslese [1]. Ein eindrucksvolles Beispiel liefert die Elektronik. Sie wird beherrscht vom Trend zur Miniaturisierung, d. h. von der Optimierung des Quotienten aus Funktionseinheiten und Flächeneinheiten. Diese Miniaturisierung betrifft alle für die Elektronik relevanten Fertigungstechnologien und damit natürlich auch die Galvanotechnik. Für den Bereich der Mikroelektronik bedeutet dies, die Galvanik muß sich von hohen Quantitäten an Chemiedurchsatz zu hohen Qualitäten bezüglich der Produkte und Prozesse, sprich hoher Präzision, weiterentwickeln. Präzision bedeutet aber Genauigkeit und Sorgfalt. In den folgenden Bei- spielen wird aufgezeigt, wie die Anforderungen aus den Anwendungen der Mikroelektronik den Weg zur Präzisionsgalvanik vorgeben und nachhaltig beeinflussen.

1 Einleitung


Die Galvanotechnik eignet sich hervorragend zur Herstellung komplexer, sehr genauer Teile aus Metall. In einem einstufigen Prozeß sind außer herkömmlichen Anwendungen, wie der Herstellung von Schallplattenmatrizen, auch solche möglich, die eine höhere Genauigkeit erfordern, Beispiele sind: Brechungsgitter, Rauheitsstandards, Gaze, Spritzgußmatrizen für Compact Discs und LaserVision-Bildplatten, Kopien von Kunstgegenständen und von Tierhäuten. Die Anwendbarkeit der Galvanotechnik erstreckt sich über einen breiten Bereich. Dies zeigt sich an der Verwendung des Ausgangsmodells (Master):
- für die Herstellung von Matrizen (z.B. für Compact Discs und LaserVision-Bildplatten)
- für die Herstellung des Endprodukts (z.B. Hohlleiter)
- als Zwischenstufe (z. B. die Kopie einer Tierhaut)

Die richtige Wahl des Materials und die möglichen Techniken zur Bearbeitung des Masters sind wichtige Kriterien für den erfolgreichen Einsatz der Galvanotechnik.

1 Einführung


Zur Herstellung von Mikroteilen aus Metall ist die Galvanoformung eine etablierte Methode. Dieses Verfahren ist jedoch auf einige abscheidbare Metalle und einfache Legierungen beschränkt. Dem gegenüber stehen die Vor- teile der Präzisionsgußtechnik: Dies sind die hohe dreidimensionale Gestaltungsfreiheit und die Vielzahl der verarbeitbaren Werkstoffe [1,2]. Daher wurden derzeit weltweit einzig- artig am Forschungszentrum Karlsruhe die Möglichkeiten der Anwendung von Präzisionsgußverfahren zur Abformung und Vervielfältigung von Strukturen untersucht, deren laterale Abmessungen im Bereich einiger 10gm liegen. Diese Strukturen sind z.T. mikromechanischen Ursprungs oder werden mit Hilfe der LIGA-Technik hergestellt [3].

50jähriges Firmenjubiläum der pretema GmbH

„Rede und Antwort zum Thema Präzision!” war und ist die Leitidee der Geschäftspolitik der pretema GmbH in Niefern. Der führende Hersteller von elektromechanischen Präzisionsteilen und Baugruppen für die Elektronik beging am 9. Oktober 1998 sein 50jähriges Firmenjubiläum. Aus diesem Anlaß waren mehr als 350 geladene Gäste aus Wirtschaft, Politik und Verwaltung nach Niefern gekommen, um mit dem Management des Unternehmens das Ereignis zu feiern.