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Freitag, 04 November 2022 13:55
Das Solar Energy Research Institute in Singapore (SERIS) hat seine Anlagen für „Atomic Layer Deposition“ (ALD) auf das neuere Verfahren „Spatial Atomic Layer Deposition“ (SALD) aufgerüstet, teilt SERIS gemeinsam mit der niederländischen SALD BV mit.
Rubrik:
Dünnschicht- und Plasmatechnik